变形镜

连续镜面 可变形镜

高品质、大冲程、低磁滞、MEMS波前校正变形镜！

关键词：变形镜，DM，Deformable Mirror，MEMS，变形反射镜，波前像差，自适应，自适应光学，自适应光学系统，天文，天文台，MEMS技术，波前，波士顿，Imagin，微变形反射镜

变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜在自适应光学系统中起着较其重要的作用，是自适应光学系统中的重要部件之一。DM的指标参数关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。微变形反射镜式可以根据波前调制的需要改变表面面形，从而纠正波前相位畸变，根据反射面的不同变形镜可分为连续表面型和分立表面两种类型。

我们是从法国Joseph Fourier 大学独立出来的，主要研发电磁场驱动的MEMS变形镜（Deformable Mirror），具备高研发实力，可以根据客户的不同应用需求定制个性化的变形镜。目前变形镜的主要应用领域涵盖了：天文领域、眼底成像、显微成像、自由空间光通信、自适应光学、激光波前校正、天文望远镜、天文观测，天文自适应，大气湍流校正，激光自适应，虹膜定位、波前像差校正，眼科成像、显微成像自适应、球差校正、自由空间光通信等。

目前我们可以生产高达820个驱动数目的变形镜，DM波前调制量可达80 µm，表面质量<7 nm RMS,采用目前先进的抛光工艺，表面粗糙度<1 nm,变形镜的响应时间只有500 us,带宽可以达到20 KHz，MEMS变形镜可以帮助用户实现快速和精准的波前校正。

MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%,高线性度> 97%。相比于MEMS 静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量,更高的调制精度。

MEMS变形镜主要特点及技术优势

Ø 80 um 波前调制量

Ø 5 um 相邻驱动调制量（可用于修正低级次大像差波前）

Ø <7 nm RMS 表面质量

Ø MEMS 电磁驱动

Ø ± 1% 高稳定性

Ø 400 us 高响应速度

Ø <3%  高线性度

Ø <2% 低磁滞性

Ø R> 97% 高质量镀膜

图一 相邻驱动调制图

图二 变形镜高表面质量

图三 电磁驱动模型

图四 高阶泽尼克多项式修正

图5 高调制稳定性（±1% over 30s）

图6 高质量镀膜

MEMS变形镜产品型号及参数

MEMS变形镜控制器

MEMS可变形镜配套低压14-bit控制器